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真空計測量范圍
壓力測量中，除極少數直接測量外，絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。
任何具體物理現象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內才最顯著，超出這個范圍，關系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105～10-14pa)，沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種真空計在原理上的差異．在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。
在被測空間引起一定物理現象，還會出現這樣的問題，即從測量的角度出發(fā)，本需要一種單純的物理現象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現象，這些寄生現象不但給測量量帶來誤差，有時還會“喧賓奪主”，完全把主要現象掩蓋住了。
由上觀之，為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，抑制寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。
表1 一些真空計的壓力測量范圍
真空計名稱 | 測量范圍(Pa) | 真空計名稱 | 測量范圍(Pa) |
水銀U型管 | 105～10 | 高真空電離真空計 | 10-1～10-5 |
油U型管 | 104～1 | 高壓力電離真空計 | 102～10-4 |
光干涉油微壓計 | 1～10-2 | B-A計 | 10-1～10-8 |
壓縮式真空計(一般型) | 10-1～10-3 | 寬量程電離真空計 | 10～10-8 |
壓縮式真空計(特殊型) | 10-1～10-5 | 放射性電離真空計 | 105～10-1 |
彈性變形真空計 | 105～102 | 冷陰極磁放電真空計 | 1～10-5 |
薄膜真空計 | 105～10-2 | 磁控管型電離真空計 | 10-2～10-11 |
振膜真空計 | 105～10-2 | 熱輻射真空計 | 10-1～10-5 |
熱傳導真空計(一般型) | 102～10-1 | 分壓力真空計 | 10-1～10-14 |
熱傳導真空計(對流型) | 105～10-1 |
真空測量特點
(1)測量壓力范圍寬，105～lO-14Pa。
(2)大部分真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數真空測量的壓力遠比上述為小，不能直接測量，應利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、粘滯性和電離等)進行間接測量。
(3)多采用非電量電測技術。
(4)大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分．否則會造成很大誤差。
(5)測量精度不高。
選擇真空計原則
(1)在要求的壓力區(qū)域內有要求的精度。
(2)被測氣體是否會損傷真空計；真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。
(3)能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關否。
(4)可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應時間長短。
(5)穩(wěn)定性、復現性、可靠性和壽命如何。
(6)還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何