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大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)
日期:2021-09-14 瀏覽:7609
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型號:大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)


說明:微波等離子體


GMPS-2010K大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)


一、技術(shù)特點及用途


● HMPS-2010K是一套開槽波導耦合,以大面積矩形等離子體放電腔模型為依據(jù),結(jié)合我公司多年搞微波等離子體系統(tǒng)的優(yōu)勢專門設(shè)計研制的1Kw/2450MHz多用途、高穩(wěn)定中等壓強微波等離子體綜合實驗和加工設(shè)備。


● 系統(tǒng)將微波源,微波傳輸系統(tǒng),真空和測量系統(tǒng),兩路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)以及總體電氣控制系統(tǒng)等各部分有機地組合成的一套完整的設(shè)備,它具有性能先進、功能完善、結(jié)構(gòu)合理,使用方便、安全可靠、外形美觀,特別適合應(yīng)用于多種微波等離子體綜合實驗和加工等高新科技領(lǐng)域。


二、系統(tǒng)組成和主要特點:


●系統(tǒng)選用我們研制成功的新一代HMG-2010C,1Kw/2450MHz高穩(wěn)定計算機程控微波功率源,其微波功率0.1 ~ 1kW連續(xù)可調(diào),穩(wěn)定度優(yōu)于±1%,控制性能好,內(nèi)部單片機提供方便手動程控,實現(xiàn)程序控制,由于采用了先進的磁控管燈絲降壓跟蹤技術(shù),無電容電感濾波的高精度電壓反饋調(diào)整穩(wěn)定技術(shù)以及完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng),使系統(tǒng)工作壽命長,性能優(yōu)良,安全可靠,操作簡單方便。


●系統(tǒng)采用了由高性能微波環(huán)行器,電動三銷釘調(diào)配器,帶反射波取樣的水負載以及過度等連接波導組成的優(yōu)良微波傳輸系統(tǒng)。它確保反射波對磁控管的良好隔離,使之穩(wěn)定工作,又能在等離子體負載大范圍變化時能方便地調(diào)節(jié)最佳匹配,達到微波功率的最佳傳輸,并通過反射波取樣,以數(shù)字顯示反射功率大小和實時工作狀態(tài)。


●多端口矩形微波等離子體放電腔,本系統(tǒng)采用了5個端口,由優(yōu)質(zhì)不銹鋼焊接而成的水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔,它與長的開槽波導連成一體,其上表面通過一塊高品質(zhì)石英板(440x200x15mm)保持微波傳輸和真空密封,該放電腔具有以下功能端口:


1)在放電腔右側(cè)面開設(shè)φ150mm園形旋轉(zhuǎn)門式進出料窗口,可方便放入大直徑的基片樣品,又帶石英玻璃和網(wǎng)狀微波屏蔽窗口,工作時清楚觀察腔內(nèi)放電工作情況。


2)在放電腔中部前后設(shè)置2個φ150mm帶石英玻璃和網(wǎng)狀微波屏蔽的備用窗口, 可供基片表面觀測和其它測量需要時的標準接口.


3)在放電腔底部中間設(shè)置一個KF-25標準端口與真空泵和真空系統(tǒng)相連結(jié)。


4)在放電腔后部對稱設(shè)置2個KF-25標準端口供測溫和等離子體診斷接口。

5)在放電腔左側(cè)面設(shè)計標準接口與供氣和氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)相連接。 真空獲得和測控系統(tǒng),系統(tǒng)選用抽速為 4L / min的直連式高性能機械泵和電磁閥,其極限真空度6×10-2 Pa,系統(tǒng)備有中低壓強電阻(大氣~ 1x10-1Pa)和壓(100Pa~100kPa)兩套真空計,測量儀表置于機柜之中, 方便真空和氣體流量的控制和讀數(shù)。


●氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng),采用兩路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng),內(nèi)置于設(shè)備機柜中,氣路短、緊湊、通過角閥和針閥控制調(diào)節(jié)十分方便。 


●系統(tǒng)還設(shè)計了功能齊全,保護良好的總體電氣控制系統(tǒng),一起集成于一臺機柜中,它具有性能先進、功能完善、結(jié)構(gòu)合理,使用方便、安全可靠、外形美觀。


三、技術(shù)參數(shù)

                           技術(shù)參數(shù)

工作頻率

2450±50MHz

輸出功率

0.1-1kW連續(xù)可調(diào)

功率穩(wěn)定度

(在額定功率電平) 優(yōu)于±1%

輸出波導接口

功率頭外置帶FD-26標準法蘭

控制方式

手動編程控制,實現(xiàn)屏幕編程控制

輸入電源

380V±10% 50Hz,三相四線,4kVA

冷卻水流量

 5 L/min

系統(tǒng)駐波系數(shù)

VSWR ≤ 1.5

電動銷釘調(diào)配器功能

負載較大變化范圍內(nèi)可通過電控調(diào)節(jié),使VSWR保持在最佳數(shù)值。其反射功率電平在微波源面板上 以數(shù)字表顯示。

石英密封窗尺寸

440(L)×200(W)×15(H)mm

腔體尺寸

440(L)x 200 (W) x 250 (H) mm

真空系統(tǒng)

極限真空度,優(yōu)于1×10-1 Pa。

氣路系統(tǒng)

兩路MFC ( Mass Flow Control )系統(tǒng),各氣路量程由用戶確定

設(shè)備外形尺寸

1.7(L)x 0.7(W)x 1.5(H)m

設(shè)備總量

約700 kg



聯(lián)系電話:028-84372044 

張經(jīng)理:13628002725



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