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型號:多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
說明:微波等離子應(yīng)用
GMPS-2050多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)及用途
● 系統(tǒng)采用GMG-2050,5kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運(yùn)用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng),使該系統(tǒng)工作壽命長,電氣性能優(yōu)良,安全可靠,操作簡單方便。
● 微波傳輸系統(tǒng)由高性能微波環(huán)行器,銷釘調(diào)配器,帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對磁控管的良好隔離,并能方便地調(diào)節(jié)最佳匹配,達(dá)到微波功率的最佳傳輸。
● 下注式微波反應(yīng)腔可在很寬的運(yùn)行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體,在等離子體放電室中產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。為確保穩(wěn)定工作, 腔壁采用雙層水冷。
● 多端口等離子體放電腔帶8~12個端口,是雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。
● 系統(tǒng)主要用途: 1)金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工;2)基片的刻蝕和灰化;3)作為高密度、寬束離子源;4)低溫氧化物的生長;5)等離子體表面處理和其它實驗加工。
技術(shù)參數(shù) | |
微波源: | HMG-2050 |
工作頻率: | 2450±50MHz |
輸出功率: | 0.5 ~ 5kW 連續(xù)可調(diào) |
功率穩(wěn)定度: | 優(yōu)于±1% |
輸出波導(dǎo)接口: | BJ-26 帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
輸入電源: | 380V/50Hz±5% 三相四線 |
冷卻水流量: | > 5L/min |
微波反應(yīng)腔 | 下注TM013模式 |
微波放電腔: | 多端口,帶雙層水冷 |
真空系統(tǒng): | 450L/min分子泵和旁路機(jī)組,中氣壓真空測控 |
氣路系統(tǒng): | 4路MFC控制 |
樣品支架系統(tǒng): | 基板直徑φ100 mm,軸向調(diào)節(jié)距離:0~150 mm |
直流偏壓源: | V=300V I=100mA |
聯(lián)系電話:028-84372044 張經(jīng)理:13628002725
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