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2kW穩(wěn)定微波功率源
日期:2021-08-25 瀏覽:4951
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型號(hào):GMG-2020C

說明:2kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源


GMG-2020C 2KW程控微波源概述

GMG-2020C 2KW程控微波源,是總結(jié)多年來我們研制和生產(chǎn)高穩(wěn)定微波源的經(jīng)驗(yàn)和客戶反饋的意見,經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和改進(jìn)而研制成功的。其穩(wěn)定度高,性能優(yōu)良、工作穩(wěn)定可靠、使用方便。

本系統(tǒng)采用最新的單片機(jī)程序觸摸屏控制。控制精度高、穩(wěn)定性好、操作簡(jiǎn)單。

本系統(tǒng)采用控制柜與功率頭分離結(jié)構(gòu),有利于用戶方便連接不同類型的波導(dǎo)系統(tǒng)。

用戶配接相應(yīng)的反應(yīng)器,可廣泛用于金剛石、類金剛石等多種薄膜的MPCVD;微波ECR系統(tǒng),微波等離子源;微波精細(xì)陶瓷燒結(jié)等高科技領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)。

二. 微波源系統(tǒng)組成及技術(shù)指標(biāo)

2.1. 系統(tǒng)組成

1)微波功率頭: 采用微波磁控管作為功率源,最大輸出功率為2000W。

2)傳輸系統(tǒng): 可根據(jù)用戶要求選配,如環(huán)行器,短負(fù)載,電動(dòng)三銷釘調(diào)配器等組件。

3)控制系統(tǒng): 采用單片機(jī)控制,控制微波輸出功率、反射功率和工作時(shí)間。

以上三部分構(gòu)成微波源.

2.2. 主要技術(shù)指標(biāo)

1)工作頻率:2450MHz±25MHz

2)輸出功率:200W~2000W連續(xù)可調(diào),(要求三相電壓平衡,最大相電壓差不超過1%)

3)功率穩(wěn)定度:輸出功率變化±1%(輸出2kW時(shí))。

4)控制方式:面板操作控制方式。

5)功率顯示:采用3組4位數(shù)顯表分別顯示微波反射功率值、輸出功率值、工作時(shí)間或設(shè)定功率值。

6)傳輸系統(tǒng): 該系統(tǒng)可根據(jù)要求配三端環(huán)行器,短負(fù)載,電動(dòng)三銷釘調(diào)配器等波導(dǎo)組件。負(fù)載駐波系數(shù)(VSWR)在1.5-50大幅度變化時(shí)仍能調(diào)配和穩(wěn)定工作。

7)設(shè)備保護(hù)系統(tǒng):系統(tǒng)有完善的保護(hù)功能,對(duì)電源、冷卻水等異常情況進(jìn)行自動(dòng)保護(hù),確保工作安全可靠。

8)微波泄漏符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

9)輸出波導(dǎo):          BJ-26帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭盤;

10)電源:               三相四線 380V±10%  /50Hz

11)最大功耗:        <2.5 KW

12)接地電阻:        小于5Ω

13)冷卻水壓:         400 KPa

14)冷卻水流量:      3 升/分

15)冷卻水接頭直徑:Φ10 mm


聯(lián)系電話:028-84372044 張經(jīng)理:13628002725


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