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FF復(fù)合分子泵
日期:2021-08-24 瀏覽:7268
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型號:FF-系列

說明:FF型復(fù)合分子泵廣泛應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀、真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。


FF系列復(fù)合分子泵

新產(chǎn)品介紹:

1. 高級限真空。

2. 大抽速:復(fù)合分子泵是由渦輪級和牽引級復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速。

3. 高壓縮比:轉(zhuǎn)子獨(dú)特的螺旋槽式牽引級使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。

4. 低噪音:采用高精度球軸承,動(dòng)平衡好,對軸承的磨損小,軸承壽命長,整機(jī)振動(dòng)小,噪音低。

5. 清潔無油:分子泵是靠動(dòng)葉片和定葉片相對運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。

6.節(jié)能:由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。

7. FF型復(fù)合分子泵廣泛應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀、真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。


主要技術(shù)參數(shù):

型          號:     FF-800         FF-1300        FF-1800

進(jìn)氣口通徑:     DN160mm      DN200mm      DN250mm

排氣口通徑:     KF40mm       KF40mm       KF40mm

抽氣速率:        800L/s         1300L/s        1800L/s

極限壓力:        5x10-7 Pa (金屬密封);5x10-6 Pa (橡膠密封)

壓  縮  比:        N2 : 108 ;H2 : 4x103

電機(jī)轉(zhuǎn)速:        36000r/min     24000r/min      24000r/min

啟動(dòng)時(shí)間:        < 10min        < 10min        < 10min

冷卻方式:         水冷          水冷            水冷

冷卻水耗量:      90L/h         90L/h           90L/h

冷卻水溫:        < 24 C          < 24 C          < 24 C

安裝位置:         垂直           垂直          垂直


聯(lián)系聯(lián)系電話: 李經(jīng)理18224040389(微信同號);028- 88491611


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